Hitrost, ločljivost, 2D ali 3D - glede na uporabo imajo proizvajalci pri pregledovanju polprevodniških izdelkov različne prednostne naloge. Comet Yxlon ponuja različne sisteme za rentgensko in računalniško tomografsko pregledovanje, ki so prilagojeni posebnim nalogam pregledovanja.
2D-radiografija
- Hitro ustvarjanje slik, idealno za preglede med procesom
- Glavna uporaba: tradicionalna embalaža
- Pregledovanje preprostih žičnih povezav, prehodov in izboklin spajkanja
- Na voljo s sistemoma Cheetah in Cougar - najboljša slika v najkrajšem času s submikrometrsko ločljivostjo
Računalniška laminografija (CL)
- Določanje prostorskih lastnosti sestavnih delov ter položaja in velikosti napak
- Glavna uporaba: Napredna embalaža
- Vzorčni pregled večplastnih paketov in integriranih naprav
- Na voljo za sistema Cheetah in Cougar z vertikalno potjo žarka in najvišjo ločljivostjo ter za sistema FF20 CT in FF35 CT s horizontalno potjo žarka
3D računalniška tomografija (CT)
- 3D-meritve za določanje prostorskih lastnosti, položaja okvar in dimenzij
- Glavna uporaba: podrobna analiza napak
- Na voljo pri sistemih FF20 CT in FF35 CT z intuitivnim upravljanjem zaradi uporabniškega vmesnika Geminy ter kot dodatek pri sistemih Cheetah in Cougar
- CT meroslovje