V industriji polprevodnikov zmanjševanje velikosti struktur vodi do manjših, učinkovitejših, hitrejših in cenejših integriranih vezij. Z napredkom na področju mikroelektronike se povečujejo zahteve za sisteme za ravnanje s ploščicami, ki so odgovorni za čist in varen prevoz ploščic. V prilagojeni aplikaciji 10 miniaturnih amortizerjev podjetja ACE zagotavlja zaščito vsake linearne osi.

Fotolitografija je ključna tehnologija pri izdelavi mikroelektronskih komponent in vezij ter pri proizvodnji mikrosistemov. Pri tem postopku se strukturni vzorec s fotomaske prenese na fotostrukturo, občutljivo na svetlobo, tanko plast fotorezista na ploščici. Da bi zagotovili njihovo brezhibno proizvodnjo, oblikovalci z največjo skrbnostjo programirajo avtomatizirane postopke in spremljajo njihovo zaporedje. Zaradi povpraševanja po mikroprocesorjih in pomnilniških čipih in ker je zanesljivost pri proizvodnji rezin ključnega pomena, številni proizvajalci čipov sodelujejo z lastnimi dobavitelji na področju sistemov za ravnanje. Ti se lahko brez prevelikega tveganja vključijo v proizvodne procese in običajno opremijo svoje konstrukcije z visokokakovostnimi, preizkušenimi standardnimi komponentami za pogone, krmilnike in linearne osi. Da bi slednje zagotovili na najboljši možni način s pomočjo robustnih, mehanskih, tokovno neodvisnih strojnih elementov, ki se lahko uporabljajo tudi v čistih prostorih, je bilo vzpostavljeno sodelovanje s podjetjem ACE Stoßdämpfer GmbH. Drugi pomemben razlog za sodelovanje je, da podjetje iz Langenfelda poleg širokega izbora kataloških izdelkov ponuja tudi rešitve po meri. Izkušena ekipa inženirjev družbe ACE jih natančno prilagodi zahtevam proizvajalcev polprevodnikov, tako da vsako komponento natančno oblikuje s pomočjo programske opreme in jo nato preizkusi v testnem laboratoriju družbe ACE. Tako skupaj s strankami zagotavljajo, da so vse proizvodne osi učinkovito zaščitene, da se preprečijo poškodbe med rokovanjem.

Oblikovanje, simulacija, preskusna postaja: kako ACE spreminja standardne blažilnike v edinstvene izdelke
Kot pove že ime podjetja, je ena od prednosti družbe ACE na področju tehnologije blaženja udarcev. Proizvajalec iz ZDA je bil pred skoraj 60 leti prvi, ki je na trg poslal nastavljive industrijske amortizerje. Podjetje, ki je od leta 2016 del skupine STABILUS, oblikovalcem med drugim ponuja tudi komponente, kot so industrijske plinske vzmeti, rotacijske zavore, vpenjalni elementi in številne druge rešitve za odpravljanje vibracij. Pri tem so majhni in industrijski amortizerji ostali osrednje poslovno področje družbe ACE, prav tako varnostni amortizerji. Razvojni inženirji v ZDA in Evropi so edinstveno znanje in izkušnje, povezane s temi izdelki, v preteklih letih nenehno širili, tako da so tudi pri tej uporabi dosegli rezultate, ki si jih želi stranka.

Za proizvodnjo čipov so v sistem za ravnanje z zadevno aplikacijo vgrajene zelo natančne osi brez trenja. Po navedbah proizvajalca se lahko osi X in Y, tako kot sredinska os (CP), v primeru trka obremenita le z največjimi dovoljenimi silami, da se 100-odstotno zagotovi, da se celoten sistem ne poškoduje. V skladu s tem je bilo treba pri tej uporabi tri osi opremiti s tremi različnimi tipi iz ACE-jeve ponudbe majhnih amortizerjev. Za os Y so bili uporabljeni štirje majhni amortizerji z navojem M20, za os X štirje z navojem M18, za os CP pa dva z navojem M25.

V prvem koraku je družba ACE v sodelovanju s stranko določila ustrezno vrsto blažilnika za vsako od treh osi, ki je moral ustrezati natančnim specifikacijam, ki jih je navedla stranka. Poleg tega so inženirji družbe ACE dobili podatke o največji dopustni podporni sili v primeru trka. V primeru osi Y so bili na primer naslednji parametri razdeljeni na en blažilnik: Masa m = 95,85 kg in hitrost v = 1,08 m/s, kar ustreza kinetični energiji 55,90 Nm. Največja dovoljena podporna sila za to os je bila 5 700 Nm. Na podlagi teh informacij je razvojni oddelek ACE v drugem koraku simuliral vzorec vrtanja za majhne vrste blažilnikov, ki bi jih lahko upoštevali pri masnih silah in hitrosti električnega pogona. Kot kaže slika (Slika 3), je bilo mogoče enakomerno zmanjšati energijo in hitrost na celotnem hodu 14 mm, s čimer se je največja podporna sila zmanjšala na vrednost približno 5.300 Nm. Družba ACE je lahko dosegla tudi predpisane vrednosti za najboljšo možno zaščito drugih dveh osi z mehanskimi komponentami. V tretjem in zadnjem koraku so bili majhni amortizerji, ki so bili izdelani po meri glede na rezultate simulacije, po obsežnem testiranju dostavljeni visokotehnološki stranki. Od takrat 10 majhnih amortizerjev podjetja ACE zagotavlja prilagojeno zaščito na vseh treh premičnih oseh vsakega sistema za rokovanje, ki se uporablja pri proizvodnji rezin.